1200℃CVD一体机
Release time: 2021-4-20 13:06:49 Number of views: 1090
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设备简介： NBD-CVD1200系列一体机采用国际先进制造工艺，从美学艺术角度出发根据人体安全的角度设计，控制系统采用先进的PLC+触摸屏操控系统，操作更加简单方便。温度控制采用先进的PID模糊控制，使控温精度保持在±1℃。适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。
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1.炉体与控制系统集成一体化，使试验方便快捷直观。 2.配置浮子流量计或质量流量计混气气路，可以单独设置气体流量。 3.精确PID程序多段控制，实现不同工艺多段温度时间监控。 4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料，保温效果极佳。 5.配备机械泵或分子真空泵，可以实现不同的真空条件。 |
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产品型号 |
NBD-CVDO1200 |
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炉管直径 |
Φ50、φ60、φ80、φ100 (可自选) |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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温区选择 |
单温区 |
双温区 |
三温区 |
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加热区尺寸 |
440mm |
200mm + 200mm |
200mm + 400mm + 200mm |
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电器规格 |
AC220V 4KW |
AC220V 5KW |
AC220V 8KW |
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升温速率 |
建议 10℃/min |
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控制系统 |
1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； |
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气体系统（可选购） |
流量计类型 |
浮子流量计 |
质量流量计 |
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管道示意图 |
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进气接口数量 |
2、3、4（多路可选） |
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流量范围 |
20-250/20-800ml/min(多量程可选) |
50/100/200sccm(多量程可选) |
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工作压差范围 |
0-0.15MPa |
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低真空系统（可选购） |
真空泵型号 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
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抽气速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
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进排气口尺寸 |
Φ8mm宝塔接头 |
Φ8mm宝塔接头 |
KF16/25 |
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极限压力 |
1000Pa |
100Pa |
10Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC220V |
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高真空系统（可选购） |
真空泵型号 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
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抽气速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
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真空测量计 |
复合真空计 |
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极限压力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746 |
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设备简介：
NBD-CVD1200系列一体机采用国际先进制造工艺，从美学艺术角度出发根据人体安全的角度设计，控制系统采用先进的PLC+触摸屏操控系统，操作更加简单方便。温度控制采用先进的PID模糊控制，使控温精度保持在±1℃。适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。
1.炉体与控制系统集成一体化，使试验方便快捷直观。
2.配置浮子流量计或质量流量计混气气路，可以单独设置气体流量。
3.精确PID程序多段控制，实现不同工艺多段温度时间监控。
4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料，保温效果极佳。
5.配备机械泵或分子真空泵，可以实现不同的真空条件。
产品型号
NBD-CVDO1200
炉管直径
Φ50、φ60、φ80、φ100 (可自选)
工作温度
≤1100℃
温区选择
单温区
双温区
三温区
加热区尺寸
440mm
200mm + 200mm
200mm + 400mm + 200mm
电器规格
AC220V 4KW
AC220V 5KW
AC220V 8KW
升温速率
建议 10℃/min
控制系统
1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；
气体系统（可选购）
流量计类型
浮子流量计
质量流量计
管道示意图
进气接口数量
2、3、4（多路可选）
流量范围
20-250/20-800ml/min(多量程可选)
50/100/200sccm(多量程可选)
工作压差范围
0-0.15MPa
低真空系统（可选购）
真空泵型号
NBD-1.5C
NBD-3C
NBD-4C
抽气速率
1L/s
3L/s
4L/s
进排气口尺寸
Φ8mm宝塔接头
Φ8mm宝塔接头
KF16/25
极限压力
1000Pa
100Pa
10Pa
工作温度
5-40℃
电气规格
AC220V
高真空系统（可选购）
真空泵型号
NBD-103(A)
NBD-103(B)
NBD-103(C)
抽气速率
110L/s
600L/s
700L/s
真空测量计
复合真空计
极限压力
10^-3Pa
10^-4Pa
10^-5Pa
工作温度
5-40℃
电气规格
AC 220V
AC 220V
AC 380V
* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746
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