Chemical vapor deposition CVD all-in-one machine
Release time: 2021-4-14 10:17:11 Number of views: 1436
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设备简介： 化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积薄膜材料的技术，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的CVD镀膜系统，适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域；
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技术参数：
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1.炉体与控制系统集成一体化，使试验方便快捷直观。 2.配置浮子流量计或质量流量计混气气路，可以单独设置气体流量。 3.精确PID程序多段控制，实现不同工艺多段温度时间监控。 4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料，保温效果极佳。 5.配备机械泵或分子真空泵，可以实现不同的真空条件。 |
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产品型号 |
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NBD-T1700-80TIG3Z |
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工作温度 |
|
≤1650℃ |
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加热区尺寸 |
|
310mm |
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| 恒温区尺寸 |
|
220mm | ||||||||
|
升温速率 |
|
≤20℃/min |
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电气规格 |
|
AC 220V 4.5KW |
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| 控制系统 |
 |
1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； |
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气体系统（可选购） |
|
流量计类型 |
浮子流量计 |
质量流量计 |
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|
管道示意图 |
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|
进气接口数量 |
2、3、4（多路可选） |
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流量范围 |
20-200/60-600l/min(多量程可选) |
50/100/200sccm(多量程可选) |
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|
工作压差范围 |
0-0.15MPa |
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|
低真空系统（可选购） |
真空泵型号 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
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|
抽气速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
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|
进排气口尺寸 |
Φ8mm宝塔接头 |
Φ8mm宝塔接头 |
KF16/25 |
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|
极限压力 |
1000Pa |
100Pa |
10Pa |
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|
工作温度 |
5-40℃ |
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|
电气规格 |
AC220V |
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|
分子泵高真空系统 （可选购） |
分子泵系统型号 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
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|
抽气速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
|||||||
|
真空测量计 |
复合真空计 |
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|
极限压力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746 |
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免责声明：本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等），仅供参考。可能由于更新不及时，或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异，请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，诺巴迪公司不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知。
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设备简介： 化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积薄膜材料的技术，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的CVD镀膜系统，适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域；
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技术参数：
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1.炉体与控制系统集成一体化，使试验方便快捷直观。 2.配置浮子流量计或质量流量计混气气路，可以单独设置气体流量。 3.精确PID程序多段控制，实现不同工艺多段温度时间监控。 4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料，保温效果极佳。 5.配备机械泵或分子真空泵，可以实现不同的真空条件。 |
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产品型号 |
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NBD-T1700-80TIG3Z |
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工作温度 |
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≤1650℃ |
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加热区尺寸 |
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310mm |
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| 恒温区尺寸 |
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220mm | ||||||||
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升温速率 |
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≤20℃/min |
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电气规格 |
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AC 220V 4.5KW |
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| 控制系统 |
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1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； |
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气体系统（可选购） |
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流量计类型 |
浮子流量计 |
质量流量计 |
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管道示意图 |
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进气接口数量 |
2、3、4（多路可选） |
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流量范围 |
20-200/60-600l/min(多量程可选) |
50/100/200sccm(多量程可选) |
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工作压差范围 |
0-0.15MPa |
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低真空系统（可选购） |
真空泵型号 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
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抽气速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
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进排气口尺寸 |
Φ8mm宝塔接头 |
Φ8mm宝塔接头 |
KF16/25 |
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极限压力 |
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100Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC220V |
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分子泵高真空系统 （可选购） |
分子泵系统型号 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
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抽气速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
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真空测量计 |
复合真空计 |
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极限压力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746 |
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0371-6320 2805
After-sales service： 0371-6320 2805
MR. CAI： 181-0371-5723
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Ms.Huang: 188-3829-0748
Email ： nbd@nbdkj.com
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