High power PECVD system (Rotary Pendulum Vibration)
Release time: 2020-9-3 15:50:16 Number of views: 2416
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Equipment introduction：
Rotary pendulum PECVD system is suitable for thin film deposition on the surface of powder materials. The system is composed of high power RF power supply (500W, 13.56MHz), gas mass flow control system, vacuum system and rotary pendulum system. It adopts Nobardi operating software of NBD-101EP centralized bus control technology. Plasma properties are used to control or influence the process of gas reaction and chemical reaction on the material surface and to deposit thin films at appropriate temperatures. PECVD deposited films have excellent electrical properties, good substrate adhesion and excellent step coverage. Because of these advantages, it has a wide range of applications in VLSI, photoelectric devices, MEMS and other fields.
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Configuration
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Main features: |
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Electrical Spec |
AC220V 1.5KW |
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设备尺寸 |
W1300mm×H1250mm×D760mm； |
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| 反应腔室 |
Φ120*L300mm（可定制，管内焊接三组搅拌挡板），非射频区管径：φ60mm； |
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翻转速度 |
0.1～6转/min（无极调速）； |
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翻转倾角 |
-3°～+3° 最大倾倒角度30° |
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反应腔压力 |
5~80pa |
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法兰结构 |
航空铝快开模式； |
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操作系统 |
NBD-101EP集中总线控制集成系统，7"真彩触摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人机对话模式； |
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电动推杆功率 |
50W |
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RF 电源 |
输出功率10～500W 任意连续可调，射频频率: 13.56MHz ±0.005% ，全自动匹配； |
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真空测试 |
数字真空计获取装置； |
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真空获取 |
NBD-4C机械真空泵(220V/50Hz)，功率：0.4KW，抽速：4m³/h； |
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供气系统 |
质量流量控制器（量程及标定可定制）精度：±1%F.S；响应时间：1-4秒； |
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设备细节 |
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部分界面 |
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控制系统 |
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1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。 |
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净重 |
约320KG |
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设备使用注意事项 |
1. 射频匹配器一般处于自动匹配状态，一般功率需达到50W以上才能匹配； |
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服务支持 |
一年有限保修，提供终身支持； |
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免责声明：本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等），仅供参考。可能由于更新不及时，或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异，请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，诺巴迪公司不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知。
相关产品
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Equipment introduction：
Rotary pendulum PECVD system is suitable for thin film deposition on the surface of powder materials. The system is composed of high power RF power supply (500W, 13.56MHz), gas mass flow control system, vacuum system and rotary pendulum system. It adopts Nobardi operating software of NBD-101EP centralized bus control technology. Plasma properties are used to control or influence the process of gas reaction and chemical reaction on the material surface and to deposit thin films at appropriate temperatures. PECVD deposited films have excellent electrical properties, good substrate adhesion and excellent step coverage. Because of these advantages, it has a wide range of applications in VLSI, photoelectric devices, MEMS and other fields.
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Configuration
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Main features: |
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Electrical Spec |
AC220V 1.5KW |
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设备尺寸 |
W1300mm×H1250mm×D760mm； |
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| 反应腔室 |
Φ120*L300mm（可定制，管内焊接三组搅拌挡板），非射频区管径：φ60mm； |
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翻转速度 |
0.1～6转/min（无极调速）； |
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翻转倾角 |
-3°～+3° 最大倾倒角度30° |
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反应腔压力 |
5~80pa |
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法兰结构 |
航空铝快开模式； |
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操作系统 |
NBD-101EP集中总线控制集成系统，7"真彩触摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人机对话模式； |
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电动推杆功率 |
50W |
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RF 电源 |
输出功率10～500W 任意连续可调，射频频率: 13.56MHz ±0.005% ，全自动匹配； |
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真空测试 |
数字真空计获取装置； |
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真空获取 |
NBD-4C机械真空泵(220V/50Hz)，功率：0.4KW，抽速：4m³/h； |
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供气系统 |
质量流量控制器（量程及标定可定制）精度：±1%F.S；响应时间：1-4秒； |
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设备细节 |
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部分界面 |
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控制系统 |
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1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。 |
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净重 |
约320KG |
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设备使用注意事项 |
1. 射频匹配器一般处于自动匹配状态，一般功率需达到50W以上才能匹配； |
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服务支持 |
一年有限保修，提供终身支持； |
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